双色球和值表平台

  • 时间:
  • 浏览:25
  • 来源:时时彩玩法介绍

  基于氮化铟镓技术和现有的制造设施,应变工程可以为微显示器提供一种可行的方法。


  基于铟镓氮化物(InGaN)多量子阱的应变工程,美国密歇根大学已经开发出单片集成的琥珀-绿-蓝色LED(图1)。该应变工程是通过蚀刻不同直径的纳米柱来实现。



  图1.各种直径的纳米柱LED阵列自上向下制造示意图


  研究人员希望未来能用635nm光致发光的量子阱生产出红-绿-蓝LED,为基于这种像素LED的微显示器提供可行的方法。其他潜在应用包括照明、生物传感器和光遗传学。


  除了美国国家科学基金会(NSF)的支持外,三星还为制造和设备设计提供了支持。研究人员希望开发出基于现有制造基础设施的芯片级多色LED平台。


  外延材料通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)在2英寸无图案蓝宝石上生长。发光有源区域由5个2.5nm InGaN阱组成,由12nm GaN栅极隔开。电子阻挡层和p-接触层分别由20nm的氮化铝镓(p-Al0.2Ga0.8N)和150nm的p-GaN组成。


  使用电子束光刻使纳米柱成型,用镍掩模进行混合干湿法蚀刻处理。大部分蚀刻是干的电感耦合等离子体,湿法蚀刻阶段用于实现最终直径,并且去除干法蚀刻步骤中的损害。蚀刻深度约为300nm。在整个制造过程中,保护蚀刻掩模,目的是为了保护p-GaN表面。


  在对50nm氮化硅进行等离子体增强化学气相沉积(PECVD)之后,用旋涂式玻璃对结构进行平整,以电隔离n和p-GaN部分。


  将平整后的结构进行干式回蚀,以暴露柱的尖端。用硝酸溶液除去镍掩模材料。 p接触的镍/金金属化在空气中进行热退火。


  设备的电气性能在5V反向偏压下显示出每像素约3x10-7A的低泄漏。低泄漏归因于两个因素 - 扁平量子阱提供了低电流拥挤效应,以及由应变引发的载流子到纳米柱中心的限制。在较窄的纳米柱中由于更大的电流密度造成的下降效应的风险,可通过减小应变进行改善,因此降低了由于III-氮化物中化学键的电荷极化引起的电场而出现的量子限制“斯塔克效应”。


  像素由具有不同直径、发出不同颜色的柱构成(图2)。随着直径的增加,波长变长,变化更大。研究人员将变化归因于晶圆上量子阱厚度的变化。



  图2.(a)从50nm、100nm和800nm直径的纳米柱和薄膜LED像素获得的蓝色(487nm)、绿色(512nm)、橙色(575nm)和琥珀色(600nm)光的室温电致发光光谱。


  (b)采用一维应力松弛理论得出的光波长。


  (c)各种施加偏置电压下的主峰位置。


  随着电压和电流注入的增加,越来越宽松的窄纳米管也显示较少的波长蓝移。 800nm直径纳米柱像素的蓝移在2.8V和4V之间为40nm。这归功于研究团队筛选阱中依赖于应变的压电场。


  该团队通过脉冲频率调制固定偏置电压及改变强度,因此来稳定像素的输出波长。通过这个试验表明,所有像素类型给出了稳定的波长和相对电致发光强度,其与脉冲信号的占空比呈现几乎线性地变化。脉冲宽度为400μs。 脉冲频率在200Hz和2000Hz之间变化。

猜你喜欢

大乐透走势图表新浪爱彩官网

难道“商业”和“科研”才是目的本身,公众的健康和安全倒是次要的?很多转基因水稻研究团队中的成员,既是国家机构的研究人员,又是种业公司的股东,这难免让人怀疑。中科院院士、华中农业

2019-09-24

体彩6十1中奖对照表平台

不久前的第二届国际生物入侵大会上透露:目前入侵中国的外来生物已经确认有544种,其中大面积发生、危害严重的达100多种。我国防范外来生物入侵的形势严峻。会上,科技部“973计划

2019-09-24

体彩大乐透开奖走势图500期平台

据南极熊了解,在佐治亚理工学院的协助下,亚特兰大儿童医疗保健公司(georgia'shealthcareofatlanta)开展了格鲁吉亚首次将3d气管夹板放置在儿科患者身上的

2019-09-23

新彩吧3d字谜画谜总汇官网

原标题:小作坊手工生产20元假币,还用醋浸泡做旧?现场让人惊呆……来源:苏州检察发布大家平时对于百元大钞,都会习惯性看下真假,但是对于20元、10元,甚至是5元这种小额币种,你

2019-09-23

3d和值走势图综合版走势图官网

2018年9月16日,在这个阳光灿烂的日子里,一场主题为“视无界?见未来”光学传媒新品发布会在桂林市香格里拉酒店成功举办。此次会议邀请了一百多座城市合作伙伴和众多媒体来参加这场

2019-09-23